村田3D MEMS技術的優點
3D MEMS (3D Micro-Electro-Mechanical-System—3維微機電系統) 通過創造性地結合相關技術，將硅材料加工成3維結構并進行密封，使之便于安裝和組裝并具有精度高、單位體積小、功耗低的特點。被裝配在微小的硅材料內部的先進傳感器，能夠對相互垂直的3個軸向的加速度進行測量。
利用3D MEMS技術，研制出了高精度傾角傳感器的理想的構造。如通過在內部的加速度傳感器內增設機械衰減機制，使得傾角傳感器和高分辨率測高計即使在強烈震動的環境中也能正常工作。這些傳感器產品的耗電量極低，這一優勢在通過電池驅動的設備中能夠很明顯的體現出來。
所開發的傾斜計采用了3D MEMS技術，在角度檢測時能夠達到小于1分的精度等級，可從容應對較高級別的水平度測量，在性能方面優于其他所有的MEMS技術。優異的性能與微安級的耗電量相結合，使之成為了無線應用的理想選擇。
村田3D MEMS技術的優點
單晶硅
- 理想的彈性材料，無塑性形變，可承受70,000g的力。
電容式感應
- 對慣性質體的位置變化進行直接測量
- 兩平面間多樣性的面間距
- 電容C (一對平面間的電荷存儲容量) 是由面間距d和面積A決定的
- C = e0×A/d
- 高精度、良好的穩定性，并且由于使用的電容器數量少易于實現自我診斷。
- 耗電量低
密封結構
- 所需的外殼尺寸小。
- 可靠性: 粉末顆粒或工程試劑等雜質不會侵入產品內部。
對稱結構
- 加速度傳感器的零點穩定性、更好的線性和它軸靈敏度
- 溫度特性低于0.2mg/℃
- 非線性的標準值低于1%
- 他軸靈敏度的標準值低于3%
定制品
- 可根據應用場合調整至特定的靈敏度和頻率響應
- 靈活的兩片式構造
真正意義上的3D結構
- 大慣性質體，憑借大容量實現高性能、低重力加速度的檢測
- 零點穩定性和噪聲性能
- 使3D傳感元件成為可能
深圳市穎特新科技有限公司專業銷售村田系列傳感器，有相應的技術支持，銷售熱線：0755-82591179
編輯：admin 最后修改時間：2019-03-07
